Utilização de MEMS((Micro-Electro-Mechanical Systems – sistemas microeletromecânico) para aplicações de circuitos de baixo custo de movimentação e sensoriamento
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Resumo
Com o avanço da tecnologia os processos de fabricação de microcomponentes dentro de um circuito integrado (CIs) permitiram a construção de micro estruturas mecânicos como sensores e atuadores comumente chamadas de MEMS (electro-mechanical systems – sistemas eletromecânicos) com tamanho na ordem de 0,001 mm e podendo ser compostos de diversos materiais como silicone, cerâmica, polímeros e metais estes sensores estão revolucionando o mercado com diversas aplicações na área de entretenimento, indústria, medicina, automobilístico e aeroespacial dentre outros, que anteriormente era muito limitado devido ao custo e tamanho dos dispositivos. Dentre esses dispositivos serão abordado os sensores de Unidade de Medição Inercial (IMU) com foco no sensoriamento para unidades de automação e robótica.
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